自动化制程管理系统及方法

摘要

本发明提供一种自动化制程管理系统及方法，供自动储存及比较多个待测单元所产生的多个测量数据。自动化制程管理系统包含一储存单元、一第一制程管理单元、一比较单元、一制程管理接口及一第二制程管理单元。储存单元储存多个规格数据。第一制程管理单元与储存单元相连，以实时自动上传该多个测量数据至该储存单元；比较单元比较该测量数据及其相对应的规格数据，并产生一比较结果；制程管理接口实时显示比较单元所产生的一比较结果；根据该比较结果，第二制程管理单元分选多个待测单元。

主权项

1.一种自动化制程管理系统，用于实时储存以及比较多个待测单元所产生的多个测量数据，该自动化制程管理系统包含：一储存单元，储存多个规格数据；一第一制程管理单元，是连接该储存单元，以实时自动上传该多个测量数据至该储存单元；一比较单元，用以比较该多个测量数据以及相对应的该多个规格数据；一制程管理接口，实时显示该比较单元所产生的一比较结果；以及一第二制程管理单元，用以根据该比较结果，分选该多个待测单元。