管理系统,管理方法,制造方法和半导体产品

摘要

本发明提供一种管理系统，管理方法，制造方法和半导体产品。本发明有关于一管理系统和方法，为一预处理订单保留产能。该管理系统包含一调度引擎，一订单管理模块，以及一产能管理模块。该调度引擎为一产品家族安排一预处理操作和多个后处理操作，该产品家族包含多个产品，对应该等后处理操作。该订单管理模块在截止日期之前，接收该产品家族的一订单。该产能管理模块为该预处理操作以及该等后处理操作其中之一保留产能。如果该订单是一预处理订单，该产能管理模块提供预处理产能给该预处理操作。如果该订单是一后处理订单，该产能管理模块提供后处理产能给对应的后处理操作。本发明借该系统和方法为一预处理订单保留产能。

主权项

1.一管理系统，为一预处理订单保留产能，其特征在于，所述管理系统包含：一调度引擎，为一产品家族，安排一预处理操作和多个后处理操作，该产品家族包含多个产品，对应该后处理操作；一订单管理模块，在截止日期之前，接收该产品家族的一订单；以及一产能管理模块，用以：为该预处理操作以及该后处理操作其中之一保留产能；如果该订单是一预处理订单，提供预处理产能给该预处理操作；以及如果该订单是一后处理订单，提供后处理产能给对应的后处理操作。