相位光栅及其形成方法以及包含相位光栅的显示装置

摘要

本发明涉及相位光栅及其形成方法以及显示装置。在现有技术中，如果相位光栅不能适当形成，全部硅基底装置就会损坏。本发明要提供一种在相位光栅结构发生故障时不使硅晶片成品毁坏的相位光栅及其形成方法。为此，相位光栅包括：具有半导体基底的底板组件；密封在底板组件上的独立的顶板组件，顶板组件包括透明盖和至少一个固定在盖上的带状反射器，带状反射器可朝向和远离底板组件弹性偏转并在两个彼此隔开的点上与顶板组件连接并且包括至少一个总是座落在底板组件上的凸起，其中顶板组件和底板组件以可解除连接的方式进行连接。本发明方法包括形成底板组件和顶板组件，可解除地连接它们并使凸起与底板组件保持接触。这样，如果相位光栅和带状反射器损坏了，顶板组件能在不牺牲昂贵硅基底的情况下返工或放弃。

主权项

1、相位光栅，它包括：一个具有半导体基底的底板组件；一个密封在所述底板组件上的独立的顶板组件，所述顶板组件包括一个透明的盖和至少一个固定在所述盖上的带状反射器，所述带状反射器可朝向和远离所述底板组件弹性偏转，所述带状反射器在两个彼此隔开的点上与所述顶板组件连接，所述带状反射器包括至少一个总是座落在所述底板组件上的凸起；其中，所述顶板组件和所述底板组件以可解除连接的方式进行连接。