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发明名称 A SILICON WAFER
摘要
申请公布号 KR100589691(B1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20040111403 申请日期 2004.12.23
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, SANG HEE;LEE, HONG WOO;CHOI, ILL SOO;HONG, YOUNG HO
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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