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发明名称 METHOD FOR REDUCING LEACHING IN METAL-COATED MEMS
摘要
申请公布号 EP1663517(A1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP20030759232 申请日期 2003.09.09
申请人 PTS CORPORATION 发明人 STAPLE, BEVAN;MILLER, DAVID;MULLER, LILAC
分类号 B05D5/12;B81C1/00 主分类号 B05D5/12
代理机构 代理人
主权项
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