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发明名称
A METHOD OF FABRICATING AN EPITAXIALLY GROWN LAYER
摘要
申请公布号
EP1664396(A1)
申请公布日期
2006.06.07
申请号
EP20040763149
申请日期
2004.07.07
申请人
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
FAURE, BRUCE;DI CIOCCIO, LEA
分类号
C30B25/18;C30B33/00;H01L21/762;(IPC1-7):C30B25/02
主分类号
C30B25/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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