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发明名称 SEMICONDUCTOR ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060061089(A) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20040099957 申请日期 2004.12.01
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 BEA, JONG SUN
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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