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发明名称 Multi-point probe
摘要
申请公布号 EP1085327(B1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP19990610052 申请日期 1999.09.15
申请人 CAPRES A/S 发明人 PETERSEN, CHRISTIAN LETH;QUAADE, ULRICH;NIELSEN, PETER FOLMER;GREY, FRANCOIS;BOGGILD, PETER
分类号 G01R1/073;G01R31/26;G01R1/06;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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