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发明名称
DIFFRACTIVE THIN-FILM PIEZOELECTRIC OPTICAL MODULATOR AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060061033(A)
申请公布日期
2006.06.07
申请号
KR20040099892
申请日期
2004.12.01
申请人
SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.
发明人
OH, MIN SUK;KO, YUN JIN;KIM, JONG SAM
分类号
H01L41/02
主分类号
H01L41/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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