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发明名称 OPTICALLY ADDRESSED EXTREME ULTRAVIOLET MODULATOR AND LITHOGRAPHY SYSTEM INCORPORATING MODULATOR
摘要
申请公布号 EP1664930(A2) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 EP20040781681 申请日期 2004.08.19
申请人 PLEX LLC 发明人 MCGEOCH, MALCOM, W.
分类号 G02F1/07;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G02F1/07
代理机构 代理人
主权项
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