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发明名称 GAS SUPPLY TUBE WITH VIEW PORT AND PLASMA PROCESS SYSTEM HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100585446(B1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20040012876 申请日期 2004.02.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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