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发明名称 CATOPTRIC PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS USING THE SAME, AND DEVICE FABRICATING METHOD
摘要
申请公布号 KR100587625(B1) 申请公布日期 2006.06.07
申请号 KR20040011642 申请日期 2004.02.21
申请人 发明人
分类号 G21K1/06;G02B17/06;G02B17/08;G02B27/18;G03F7/20;G21K5/00;G21K5/02;H01L21/027 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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