| 发明名称 |
INTERCONNECTION STRUCTURE WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1665370(A1) |
申请公布日期 |
2006.06.07 |
| 申请号 |
EP20040816197 |
申请日期 |
2004.09.15 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
LOUIS, DIDIER |
| 分类号 |
H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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