| 摘要 |
本发明揭示用于形成物体的样品、从物体撷取样品以及在真空腔室中对所述样品进行包括表面分析和电子透明度分析的微观分析的方法和装置。在一些实施例中，提供一种成像撷取样品的物体横截面的方法。可选择地，在真空腔室中重复地变薄和成像样品。在一些实施例中，样品位于具有可选择开口的样品支撑件上。可选择地，样品位于样品支撑件的表面之上，以使物体横截面基本上平行于样品支撑件的表面。一旦装配于样品支撑件之上，在真空腔室中对样品进行微观分析或装载于装载位置。在一些实施例中，样品系利用大致垂直入射至物体横截面的电子束成像。 |
