| 摘要 |
〔课题〕本发明之目的为提供，可确实检测出即使在反射散乱光所成之摄像可检测出，而在透过散乱光所成之摄像却无法检测出之缺点的玻璃基板之缺点检查方法及其装置。〔解决手段〕实施形态之缺点检查装置10，基于在玻璃基板12之上面12B所反射之红色反射散乱光、在玻璃基板12之下面12C所反射之蓝色反射散乱光、以及在玻璃基板12之端部12A所反射之绿色反射散乱光，而检查其缺点。即，本发明藉由B波带截除滤光器28以及R波带截除滤光器30以截除透过散乱光而实施缺点检查，可确实检测出即使在反射散乱光所成之摄像可检测出，而在透过散乱光所无法检测出之缺点。 |
