紫外线-透明之烷类及使用彼等于真空及深紫外线应用之方法

摘要

本发明系关于对介于约170奈米至260奈米间之UV波长具高度透明性的烷类在光学耦合剂、光学接合剂、光学元件、供半导体晶圆及装置用光学检验媒体及尤其系在193及248奈米曝光波长之浸渍光微影术中之用途。