用于藉由原子层沈积以沈积铜薄膜之铜(II)错合物

摘要

本发明系关于新颖1,3–二亚胺及1,3–二亚胺铜错合物，及1,3–二亚胺铜错合物在一原子层沉积法中用于在基材上、或在多孔固体内或多孔固体上沉积铜之用途。