减少低介电常数介电层之介电常数的方法

摘要

一种减少低介电常数介电层之介电常数的方法。先以气体携带液体状之前趋物的蒸汽进入可进行化学气相沈积反应之反应区域中，然后活化上述之前趋物与气体以进行化学气相沈积反应，此化学气相沈积反应在位于反应区域中之基底上沈积具有低介电常数之介电层。上述之气体可为一氧化碳、二氧化碳、氮气或一氧化二氮。