摘要 |
本发明系是有关一种具有一蒸发器坩埚之用于蒸发材料的设备,即将被蒸发的材料则系被配置于此蒸发器坩埚内。在蒸发器坩埚的周围处系被安置有一个蒸发器管,从此蒸发器管的纵轴方向看过去,此蒸发器管包含至少二个加热用电路,此二加热用电路系被配置成一个接着另外一个之后,并且系单独以电气之方式来控制。每一个上述之加热用电路均包含至少二个加热用次要电路,其中之一个加热用次要电路系被配置于蒸发器管的一侧边处,另外一个加热用次要电路则位于蒸发器管的另一侧边上。此蒸发器管系被提供有一个其本身具有加热用电路的顶端部位。 |