溅镀靶用之冷却式背板及由多个背板所构成之溅镀靶

摘要

本发明提供一种溅镀靶配置，其由多个各别可冷却的背板(2，3，4)所构成。每一背板(2，3，4)在其反侧上设有一种弯蜒之导槽(5)，其由一密封扁环所密封。该密封扁环(9)以环形方式而与背板(2)相焊接，其中同时可进行一种对至少一由该框相远离的条片(7)之焊接，该条片(7)使导槽互相分开成二部份。与该背板(3)相焊接之密封扁条不只包围导槽以形成一种冷却通道，而且亦用来强固其它较平坦的背板(20)。