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发明名称
定位装置
摘要
一种用于一封装件测试机之定位装置,测试机包含一可输送气体的软气管。定位装置包含一具有一第一侧和一相反的第二侧的测试板、一连接测试板第一侧的连接单元,及一由连接单元相反于测试板的一侧可分离的连接连接单元的定位单元。定位单元连接软气管并使软气管中之气体经由定位单元和连接单元导入至测试板的第一侧。藉以调整测试板之第一侧与第二侧的温差而消除在第一侧或第二侧上因温差而产生水气凝结。
申请公布号
TW200618149
申请公布日期
2006.06.01
申请号
TW093136738
申请日期
2004.11.29
申请人
日月光半导体制造股份有限公司
发明人
卢忻杰
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
高雄市楠梓区楠梓加工区经三路26号
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