发明名称 辐射敏感性树脂组成物
摘要 一种辐射敏感性树脂组成物,其包含(A)具有硬化性质的硷可溶树脂、(B)二叠氮化合物、(C)溶剂及(D)矽烷偶合剂。
申请公布号 TW200617590 申请公布日期 2006.06.01
申请号 TW094121804 申请日期 2005.06.28
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 川口裕次郎;中野由子;白川政和
分类号 G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本