彩色滤光片制程

摘要

一种彩色滤光片制程，系采用压印遮罩(imprint mask)搭配压印方式与乾式蚀刻(dry etching)制程，可以取代传统的湿式显影制程，并达成下列优点：提高彩色单元之图形均匀度、改善彩色单元之膜厚平坦度、增加解析度、缩短制程时间、减少制程成本、避免使用显影溶剂以减少相关废液处理与环境污染问题。