夹紧装置及用于输送基板之输送机构

摘要

一种夹紧装置，包括固定在垂直方向的夹爪(15)；沿垂直方向可移动的夹爪(16)；以及用于向可移动夹爪(16)施加力的力转换器。可移动夹爪(16)是弯曲的。力转换器优选地包括线圈(21)和铁芯(22)。在夹紧装置的未夹紧状态，可移动夹爪(16)承受铁芯(22)的重量。为了夹紧，电流施加于线圈(21)，产生磁场，将铁芯(22)压靠于可移动夹爪(16)。