晶圆检验方法

摘要

为了检验一种晶圆(10)，目前所用的方式是对整个晶圆(10)进行一种晶圆对晶圆之比较。为了确保可提早辨认此晶圆(10)上的缺陷或缺陷发展情况，则一种晶圆对晶圆之比较过程只限制在可由使用者所选取之特定的比较区(22)上。