薄膜电晶体印刷制程方法

摘要

本发明为一种薄膜电晶体印刷制程方法，步骤包括定义印刷图样于一晶种材料、光阻材料、固化材料，并进行浸置基板于溶液之化学无电电镀奈米金属方法，再将金属离子还原成且沉积金属材料，于基板上形成金属配线。系利用印刷方式结合奈米金属材料备制薄膜电晶体(TFT)中低阻抗闸极(gate)金属薄膜与汲极(drain)、源极(source)电极薄膜，主要应用于大面积连续印刷制程制作平面显示器，可在常压低温下备制电气性质良好的闸极、汲极与源极金属薄膜，可大幅降低材料与制程设备成本，并可用于连续印刷涂布制作大面积可挠式面板。