微电子元件及其制造方法

摘要

一种微电子元件之制造方法。微电子元件包括一具有一浅接面之半导体基底。首先，将掺杂物掺入一基底以形成一源极区域和一汲极区域。其后，形成一应力层于部分之该源极区域和汲极区域上。最后，对基底进行一回火制程。