用于微细加工之工具组及其制造方法,及微细加工之方法

摘要

本发明系关于一种用于微细加工之工具组及其制造方法，该工具组包括一基座及复数个位于该基座上之柱状工具，其中每一该等柱状工具沿着其z轴方向具有二种以上不同之x–y平面方向之剖面。该工具组之制造方法系利用一具有透孔之模板结合摇动放电加工技术，可将该工具组上之柱状工具批量制造成复杂之三维结构，达到降低不良率、节省时间或人力成本，且因该柱状工具之材质不受限制，因此可应用于放电加工或是微细超音波加工。