受光装置及其制造方法以及摄影机

摘要

本发明之受光装置，具有形成于半导体基板上之受光部、与位在该受光部光路上之由有机材料构成的透光部，该透光部系含有氘。以有机树脂形成摄影机之摄影透镜、棱镜、摄影元件之微透镜、或平坦化膜、滤色器时，系将该有机树脂氘化。又，提供一种可见光区域及近红外区域之具有高感度之受光装置与其制造方法及摄影机，其系藉由将摄影元件内之保护膜、层间绝缘膜等氧化矽膜或氮化矽膜、氮氧化矽膜加以氘化，而能使造成感度降低之C,O,Si,N个别与氢键结的固有振动移往长波长侧。