发明名称 | 内埋式主动元件结构及其制造方法 | ||
摘要 | 一种内埋式主动元件结构及其制造方法,其主要制造程序包含先将复数个主动元件对位置放于模板上,再披覆介电材料层于模板上,并覆盖复数个主动元件,于介电材料层上制作传导电路,其传导电路系导通于主动元件,最后进行脱模,将嵌入主动元件之介电材料层移离模板。 | ||
申请公布号 | TW200618127 | 申请公布日期 | 2006.06.01 |
申请号 | TW093135743 | 申请日期 | 2004.11.19 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈守龙;柯正达 |
分类号 | H01L21/44 | 主分类号 | H01L21/44 |
代理机构 | 代理人 | 许世正 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |