发明名称 内埋式主动元件结构及其制造方法
摘要 一种内埋式主动元件结构及其制造方法,其主要制造程序包含先将复数个主动元件对位置放于模板上,再披覆介电材料层于模板上,并覆盖复数个主动元件,于介电材料层上制作传导电路,其传导电路系导通于主动元件,最后进行脱模,将嵌入主动元件之介电材料层移离模板。
申请公布号 TW200618127 申请公布日期 2006.06.01
申请号 TW093135743 申请日期 2004.11.19
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈守龙;柯正达
分类号 H01L21/44 主分类号 H01L21/44
代理机构 代理人 许世正
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号