| 摘要 |
一种用于调整介于一腔室体与一升举板之间的一间距之装置，至少包含有将被装设至该腔室体的一装设螺栓之升举板。该装设螺栓包括有一螺栓刻纹表面。一轴衬系能够被固定至该升举板，并且包括有一轴衬刻纹表面。一调整螺丝具有第一刻纹表面与第二刻纹表面，其中该第一刻纹表面系刻纹地卡合于该装设螺栓之该螺栓刻纹表面，该第二刻纹表面系刻纹地卡合于该轴衬之该轴衬刻纹表面。当该轴衬被固定至该升举板且该调整螺丝被旋转时，该些刻纹表面是用以使得该调整螺丝相对于该装设螺栓以第一速率移动于第一方向且该轴衬相对于该调整螺丝以第二速率移动于第二方向，其中该第二方向是相反于该第一方向且该第二速率是不同于该第一速率。 |
