| 摘要 |
一种显示器面板的检查方法、检查装置及使用那些方法和装置之制造方法，其特征为：具有高度量测装置，一面使基板或高度测量装置朝与液状材料交叉之方向移动，该液状材料系在基板依既定之间隔涂布多条，一面离散地量测包含液状材料涂布部之基板面的高度，自所得到之离散高度形状信号求出近似的高度形状信号后，抽出各液状材料之高度且将高度信号作为检查信号，自检查信号量测各液状材料之涂布量。藉着在萤光物胶涂布制程之后检查涂布制程之状态，而迅速地发现在涂布制程产生连续缺陷的不良原因，将成为不良品、损失之基板数抑制成最低限，可使制程迅速地复原。 |
