气体散流盘及使用该气体散流盘之装置

摘要

一种用于一电浆装置之气体散流盘，其包括：一具有复数个注入孔之机体，该机体相对于一中心表面被划分成一下部部分及一上部部分；及一连接至该下部部分之机体支撑单元。