| 主权项 |
1.一种储存光罩之容器,系用来储存至少一光罩,该 储存光罩之容器至少包括: 一底座,该底座系用以承载该至少一光罩;以及 一顶盖,该顶盖系用以遮蔽该至少一光罩,其中该 顶盖至少包括: 一外容器,该外容器系由一第一塑胶层所构成;以 及 一内容器,该内容器系置于该外容器之内部,并与 该外容器套接在一起,其中该内容器系由一第二塑 胶层所构成,且该内容器与该外容器贴合之至少一 表面系具一导电塑胶层,该导电塑胶层系包括一塑 胶材料与涂布在该塑胶材料表面之一金属所构成 。 2.如申请专利范围第1项所述之储存光罩之容器,其 中上述之第一塑胶层系由聚甲基丙烯酸甲酯( Polymethylmethacrylate;PMMA)所构成。 3.如申请专利范围第1项所述之储存光罩之容器,其 中上述之第二塑胶层系由聚甲基丙烯酸甲酯所构 成。 4.如申请专利范围第1项所述之储存光罩之容器,其 中上述之塑胶材料系由聚乙烯(Polyester)所构成。 5.如申请专利范围第1项所述之储存光罩之容器,其 中上述之金属系为铝金属。 6.如申请专利范围第1项所述之储存光罩之容器,其 中上述之金属系为铜金属。 7.如申请专利范围第1项所述之储存光罩之容器,其 中上述之底座系由该第一塑胶层、该第二塑胶层 、以及夹于该第一塑胶层与该第二塑胶层间的该 导电塑胶层所构成。 8.一种储存光罩容器之侧壁结构,该储存光罩容器 系用来储存至少一光罩,至少包括: 一第一塑胶层,其中该第一塑胶层系由防摩擦电荷 之材质所构成; 一第二塑胶层,其中该第二塑胶层系由防摩擦电荷 之材质所构成;以及 位于该第一塑胶层与该第二塑胶层间的一导电塑 胶层,其中该导电塑胶层系由防电磁感应之材质所 构成,该导电塑胶层系包括一塑胶材料与涂布在该 塑胶材料表面之一金属所构成。 9.如申请专利范围第8项所述之储存光罩容器之侧 壁结构,其中上述之第一塑胶层系由聚甲基丙烯酸 甲酯所构成。 10.如申请专利范围第8项所述之储存光罩容器之侧 壁结构,其中上述之第二塑胶层系由聚甲基丙烯酸 甲酯所构成。 11.如申请专利范围第8项所述之储存光罩容器之侧 壁结构,其中上述之塑胶材料系由聚乙烯所构成。 12.如申请专利范围第8项所述之储存光罩容器之侧 壁结构,其中上述之金属系为铝金属。 13.如申请专利范围第8项所述之储存光罩容器之侧 壁结构,其中上述之金属系为铜金属。 图式简单说明: 第1图所绘示为习知光罩盒之剖面示意图; 第2图所绘示为本发明储存光罩之容器剖面示意图 ; 第3图所绘示为本发明储存光罩之容器中的顶盖结 构示意图。 |
