| 主权项 |
1.一种光罩交易系统,其特征为: 其系用以交易半导体装置生产用的光罩之系统,该 系统系具备可进行电子资讯交换的网路、及储存 上述电子资讯之资料库群; 其具备: 买进仲介部,其系对光罩购买者进行上述电子资讯 之输出入之网路终端机; 贩卖仲介部,其系对光罩销售者进行上述电子资讯 之输出入之网路终端机; 生产订单记忆部,其系储存包含经由上述买进仲介 部所输入的光罩规格的光罩生产订单之生产订单 资料库; 影像记忆部,其系将表示根据上述光罩规格于光罩 生产工厂所制作的光罩产品的图案边角部的二次 元外形的外形影像中之由上述贩卖仲介部所输入 的上述外形影像予以储存的资料库;及 影像提供部,其系经由上述买进仲介部,对光罩购 买者提供上述外形影像的程式。 2.根据申请专利范围第1项之光罩交易系统,其中更 具备模拟部,其系基于曝光装置之规格,预测使用 具有上述外形影像的图案边角部分而曝光时的复 制影像的模拟器;且上述影像提供部系经由上述买 进仲介部提供上述复制影像给上述光罩购买者。 3.根据申请专利范围第2项之光罩交易系统,其中上 述模拟部系经由上述买进仲介部让上述光罩购买 者输入上述曝光装置的规格。 4.根据申请专利范围第1至3项中任一项之光罩交易 系统,其中更具备检查资料记忆部,其系储存上述 光罩产品的缺陷之检查资料的资料库;及检查资料 提供部,其系经由上述买进仲介部提供上述检查资 料给上述光罩购买者的程式。 5.根据申请专利范围第1至3项中任一项之光罩交易 系统,其中更具备进行选择部,其系于提供上述外 形影像给上述光罩购买者之后,经由上述买进仲介 部让上述光罩购买者选择是否买进上述光罩产品, 或者是否依照上述光罩的规格重新制作光罩的程 式。 6.根据申请专利范围第5项之光罩交易系统,其中上 述进行选择部更让上述光罩购买者选择是否要重 新设定上述光罩产品的价格。 7.根据申请专利范围第6项之光罩交易系统,其中上 述进行选择部具备输入重新设定上述光罩产品价 格的理由之手段。 8.一种光罩交易方法,其特征为: 其系为了交易半导体装置生产用的光罩,使用具备 下述构件之系统而进行的光罩交易方法:买进仲介 部,其系经由网路对光罩购买者进行电子资讯之输 出入之网路终端机;及贩卖仲介部,其系对光罩销 售者。 进行上述电子资讯之输出入之网路终端机; 该方法具备下述步骤: 将包含经由上述买进仲介部所输入的光罩规格的 光罩生产订单储存于资料库之步骤; 根据上述光罩规格于光罩生产工厂所制作的光罩 产品的图案边角部的二次元外形的外形影像中之 由上述贩卖仲介部所输入的上述外形影像储存于 资料库之步骤;及 经由上述买进仲介部对光罩购买者提供上述外形 影像之步骤。 9.根据申请专利范围第8项之光罩交易方法,其中更 具备藉由上述系统,根据曝光装置的规格,预测使 用具有上述外形影像的图案边角部分而曝光时的 复制影像之步骤,及经由上述买进仲介部,提供上 述所预测之复制影像给光罩购买者之步骤。 10.根据申请专利范围第9项之光罩交易方法,其中 更具备经由上述买进仲介部,让上述光罩购买者输 入上述曝光装置规格之步骤。 11.根据申请专利范围第8至10项中任一项之光罩交 易方法,其中更具备将经由上述贩卖仲介部所输入 在上述光罩产品的缺陷的检查资料储存于资料库 之步骤,及经由上述买进仲介部,对光罩购买者提 供上述储存于资料库之检查资料之步骤。 12.根据申请专利范围第8至10项中任一项之光罩交 易方法,其中更具备选择步骤,系于提供上述外形 影像给光罩购买者之后,经由上述买进仲介部让上 述光罩购买者选择是否买进上述光罩产品或者是 否依照上述光罩的规格重新制作光罩。 13.根据申请专利范围第12项之光罩交易方法,其中 上述选择步骤更让上述光罩购买者选择是否要重 新设定上述光罩产品的价格。 14.根据申请专利范围第13项之光罩交易方法,其中 上述选择步骤更具备输入重新设定上述光罩产品 价格的理由之步骤。 15.一种光罩交易方法,其特征为 其系为了交易半导体装置生产用的光罩,使用具备 下述构件之系统而进行的光罩交易方法:买进仲介 部,其系经由网路对光罩购买者进行电子资讯之输 出入之网路终端机;及贩卖仲介部,其系对光罩销 售者进行上述电子资讯之输出入之网路终端机; 该方法具备下述步骤: 将包含经由上述买进仲介部所输入的光罩规格的 光罩生产订单储存于资料库1之步骤; 自资料库1透过网路,经由贩卖仲介部将上述光罩 生产订单传达至光罩生产工厂之步骤; 根据上述光罩规格,于上述光罩生产工厂制作光罩 产品之步骤; 取得表示上述光罩产品的图案边角部的二次元外 形的外形影像之步骤; 经由上述贩卖仲介部,将上述外形影像储存于资料 库2之步骤; 由上述资料库2经由上述买进仲介部,提供上述外 形影像给上述光罩购买者之步骤;及 提供上述外形影像给上述光罩购买者之后,经由上 述买进仲介部,让上述光罩购买者选择是否买进上 述光罩产品,或者是否依照上述光罩的规格重新制 作光罩之步骤。 16.根据申请专利范围第15项之光罩交易方法,其中 上述选择步骤更让上述光罩购买者选择是否要重 新设定上述光罩产品的价格。 17.根据申请专利范围第15项之光罩交易方法,其中 更具备藉由上述系统,根据曝光装置的规格,取得 使用具有上述外形影像的图案边角部分而曝光时 的复制复制影像的步骤,及经由上述买进仲介部, 提供上述所预测之复制影像给光罩购买者的步骤 。 图式简单说明: 图1系一种方块图,其为表示为了交易有关本发明 的实施形态的半导体装置生产用的光罩之系统与 光罩购买者这边的终端、及光罩生产工厂的关系 。 图2系表示使用图1图示的系统而进行的光罩交易 方法的业务流程的流程图。 图3系输入光罩生产订单之际,表示对光罩购买者 的显示画面之图。 图4系让光罩购买者选择是否进行光罩的生产之际 ,对光罩购买者显示的画面之图。 图5系表示对光罩购买者显示检查资料及外形影像 的画面之图。 图6系在图5图示的画面选择了「复制模拟→」的 时候,对光罩购买者显示的画面之图。 图7系表示对光罩购买者询问如何地进行光罩交易 光罩之际,所显示的画面之图。 图8系算出光罩产品的重新设定价格之后,对光罩 购买者显示的画面之图。 |
