感光性组成物及使用它形成图案之方法

摘要

本发明提供一种正型作业感光性组成物，其可用于半导体(如IC)之制造步骤、电路板(如液晶与加热头)之制造、及其他制造步骤，而且具有优良之解析度及线缘粗度，及一种使用它形成图案之方法，其中感光性组成物含(A)一种具有具指定基之重复单位之树脂，其在硷显影剂中之溶解度因酸之作用而增加，及一种使用它形成图案之方法。