基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置(10)，该基板处理装置对正在沿运送通路(171)以基本水平的状态运送的基板(B)进行既定的处理，沿着运送通路(171)串联设置液体回收型喷嘴部(20)和气刀(30)，该液体回收型喷嘴部(20)用作向运送中的基板(B)供给既定的处理液的处理液供给器，按照可从基板(B)回收已供给的处理液的方式构成，该气刀(30)用作去除被供给处理液后的基板(B)上残留的处理液的处理液去除器，通过气流吹散基板(B)上的残留处理液。并且可以实现基板处理装置的紧密化。