曝光装置及元件制造方法

摘要

本发明提供一种能防止液体残留于测量部上之曝光装置。曝光装置，具备：测量系统，具有形成于基板载台上面之第1图案；以及第2区域，系在上面设于含有第1图案之第1区域附近；于第2区域形成第2图案，俾使横跨第1区域与第2区域残留之液体从第1区域退离而聚集于第2区域。