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发明名称
微结构之表面润滑
摘要
本发明系揭示用来润滑微机电元件表面之润滑剂。明确地说,可在该微机电元件之接触表面应用该等润滑剂,以便除去接触表面之黏着物。
申请公布号
TW200617156
申请公布日期
2006.06.01
申请号
TW094121969
申请日期
2005.06.29
申请人
雷弗莱提维提公司
发明人
席孟奈安迪米崔;波特约翰
分类号
C10M105/18;C10M105/58;C10M105/50;C10M105/76;B81C1/00
主分类号
C10M105/18
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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