| 摘要 |
一种重量平均分子量为1,000至50,000之高分子化合物，其系为各自含有1种以上下述式(1)及式(2)所示重复单位者；094120480-p01.bmp〔式中，R^1、R^3为氢原子或甲基；R^4为伸烷基；R^2为由式(R^2–1)至(R^2–7)所选出之酸不稳定基；094120480-p02.bmp(虚线为键结位置及键结方向，R^5为烷基，R^6、R^7@2为烷基，Z为可含有与键结之碳原子共同形成单环或交联环之氧原子的二价烃基，m为0或1)〕。使用本发明高分子化合物作为光阻材料，特别是作为增强化学型光阻材料之基础树脂使用时，除具有高感度、解析度、蚀刻耐性等以外，尚具有优良之基板密着性与显影液亲和性等。094120480-p01.bmp |
