固态浸没透镜微影术

摘要

揭露一种使用固态浸没透镜之微影术。于一实施态样中，提供一种包含具有第一面和第二面之抗蚀膜(resistfilm)之装置，其中，该第二面为第一面之相对面。将一个或多个固态浸没透镜设置于该抗蚀膜之第一面之上。于另一实施态样中，提供一种制造方法，包括形成抗蚀膜以及利用穿透过一个或多个固态浸没透镜之辐射使该抗蚀膜曝光。