发明名称 加热器及晶圆加热装置以及该加热器之制造方法
摘要 本发明涉及一种能够减小被加热物表面的面内温度差,且能够短时间将被加热物加热到所期望的温度的加热器。该加热器具有板状体,该板状体具有第1主面与第2主面,其第1主面为放置被加热物的载置面,其内部或第2主面具有电阻发热体,电阻发热体为连续带状体,该连续带状体,具有位于互不相同半径的同心圆中的两个圆的一方圆周上的至少两个圆弧形带、位于另一方圆周上的至少1个圆弧形带、以及分别与一方圆周上的圆弧形带和位于另一方圆周上的圆弧形带相连接,且相互邻接的连接圆弧形带;相邻的连接圆弧形带间的连接间距,小于一方圆周上的圆弧形带与位于另一方圆周上的圆弧形带之间的圆弧间距。
申请公布号 TW200618663 申请公布日期 2006.06.01
申请号 TW094133740 申请日期 2005.09.28
申请人 京赛拉股份有限公司 发明人 中村恒彦
分类号 H05B3/14;H05B3/26;H05B3/74;H01L21/00 主分类号 H05B3/14
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 日本