| 主权项 |
1.一种扫描装置,系具备伺服控制装置,检测支撑电 流反射镜之旋转轴的旋转角度,将所检测之检测値 对指令値的偏差积分,藉此使该检测値追随该指令 値,其特征在于: 于该偏差之积分値加上与该偏差成比例之修正値 。 2.如申请专利范围第1项之扫描装置,其中,设置稳 定化补偿机构,在该旋转轴之扭转共振峰所存在之 频率区域补偿反馈回路之稳定性。 3.如申请专利范围第2项之扫描装置,其中,该稳定 化补偿机构,系将与待稳定化之复数个该扭转共振 峰对应的串联陷波滤波器、及在相邻接之该扭转 共振峰中间之频率区间具有遮断特性之陷波滤波 器串联而成者。 4.一种扫描装置,系具备伺服控制装置,检测支撑电 流反射镜之旋转轴的旋转角度,将所检测之检测値 对指令値的偏差积分,藉此使该检测値追随该指令 値,其特征在于: 将构成该伺服控制装置之补偿机构之增益,对应电 流反射镜之移动角度预先设定复数个,在使该旋转 轴旋转之前,对应依该指令値所决定之该移动角度 来变更各该补偿机构之增益。 5.如申请专利范围第4项之扫描装置,其中,设置用 以运算与该检测値成比例之修正値的检测値比例 补偿机构,在从该积分値减去在该检测値比例补偿 机构所得之修正値之情形,当要变更该增益时,系 从该检测値比例补偿机构之输出减去依该增益之 变化量而使该检测値成为系数倍后的値。 图式简单说明: 图1,系具备本发明之扫描装置之雷射加工机的方 块图。 图2(a)、(b),系表示本发明之扫描装置之频率响应 特性图。 图3(a)、(b),系表示本发明之扫描装置之特性图。 图4(a)、(b),系表示习知之扫描装置之特性图。 |
