发明名称 METHOD FOR FORMING A GATE OXIDE LAYER IN NON-VOLATILE MEMORY DEVICE AND METHOD FOR FORMING A GATE PATTERN INCLUDING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060058813(A) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 KR20040097771 申请日期 2004.11.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, JUNG HWAN;LEAM, HUN HYEOUNG;LEE, JAI DONG
分类号 H01L21/8247 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址