| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ABSCHEIDEN INSBESONDERE KRISTALLINER SCHICHTEN AUF INSBESONDERE KRISTALLINEN SUBSTRATEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE50206593(D1) |
申请公布日期 |
2006.06.01 |
| 申请号 |
DE20025006593 |
申请日期 |
2002.09.27 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
FRANKEN, WALTER;KAEPPELER, JOHANNES |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/44;C23C16/509;C30B25/10;C30B25/14;F16F7/02;F16F11/00;F16F13/04 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
