发明名称 CHEMICAL DISPENSE APPARATUS HAVING MULTIPLE NOZZLES
摘要
申请公布号 KR20060058989(A) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 KR20040098069 申请日期 2004.11.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, HO JIN;KIM, JU BAE;LEE, BYOUNG JIN;LEE, GYOUNG HO
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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