发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur chemischen Gasphasenabscheidung
摘要
申请公布号 DE60112372(T2) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 DE20016012372T 申请日期 2001.09.21
申请人 JAPAN PIONICS CO. LTD;TOKUSHIMA SANSO CO., LTD. 发明人 SAKAI, SHIRO;TAKAMATSU, YUKICHI;MORI, YUJI;NAOI, HIROYUKI;WANG, HONG XING;ISHIHARA, YOSHIYASU;AMIJIMA, YUTAKA
分类号 C23C16/34;C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205;H01L33/32;H01S5/323 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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