Dünnfilm-Strukturiervorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines Farbfilter-Arraysubstrats unter Verwendung derselben

摘要

Ein Herstellverfahren für ein Farbfilter-Arraysubstrat verfügt über die folgenden Schritte: Herstellen einer Schwarzmatrix auf einem Substrat; Herstellen roter, grüner und blauer Farbfilter auf dem Substrat, auf dem die Schwarzmatrix hergestellt ist; Herstellen einer Überzugsschicht mit einem weißen Farbfilter auf dem Substrat, auf dem die roten, grünen und blauen Farbfilter hergestellt sind; Ausrichten einer weichen Flachtafelform zur Überzugsschicht und Glätten der Überzugsschicht unter Verwendung der weichen Flachtafelform.