摘要 |
Die Erfindung betrifft einen Nanostrukturträger, ein Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung. Die so hergestellten Nanostrukturträger besitzten Nanoröhren, Nanodrähte oder Nanostege, deren Achsen lateral, d. h. parallel, zur Substratoberfläche liegen, wobei die Achsrichtungen für unterschiedliche Substrat-Flächenelemente gleich oder unterschiedlich definiert sein können. Solche Nanostrukturen werden für die Weiterentwicklung der Mikroelektronik zur Nanoelektronik sowie für sensorische bzw. analytische Zwecke und als Werkzeuge in der Nano-Biotechnologie verwendet.
|