发明名称 Nanostrukturträger, Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung
摘要 Die Erfindung betrifft einen Nanostrukturträger, ein Verfahren zu dessen Herstellung sowie dessen Verwendung. Die so hergestellten Nanostrukturträger besitzten Nanoröhren, Nanodrähte oder Nanostege, deren Achsen lateral, d. h. parallel, zur Substratoberfläche liegen, wobei die Achsrichtungen für unterschiedliche Substrat-Flächenelemente gleich oder unterschiedlich definiert sein können. Solche Nanostrukturen werden für die Weiterentwicklung der Mikroelektronik zur Nanoelektronik sowie für sensorische bzw. analytische Zwecke und als Werkzeuge in der Nano-Biotechnologie verwendet.
申请公布号 DE102004052445(A1) 申请公布日期 2006.06.01
申请号 DE200410052445 申请日期 2004.11.17
申请人 WESTFAELISCHE WILHELMS-UNIVERSITAET MUENSTER 发明人 KNOLL, MEINHARD
分类号 B82B3/00;B82B1/00 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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