Verfahren und System zur Klassifizierung von an einer Oberfläche eines Substrats auftretenden Defekten unter Verwendung einer grafischen Darstellung von Vielkanal-Daten
摘要
申请公布号
DE112004001024(T5)
申请公布日期
2006.06.01
申请号
DE200411001024
申请日期
2004.06.09
申请人
ADE CORP
发明人
TIEMEYER, TIMOTHY R.;AKUTSU, JAMES S.;SALTER, ROBERT J.;ZENG, YU
